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　　超精密磨削抛光｜高精度光学元件背后的工艺，磨削设备方面，英国克兰菲尔德精密工程研究所研发的 Big Optix 大型超精密磨床具备较高的动态和静态环路刚度，能够实现亚表面损伤深度的微量可控超精密磨削加工，加工口径为1米的工件时，表面形状精度可达到1μm。美国Moore公司研发的 Nanotech 500FG 和 Nanotech 650FG 五轴联动超精密磨床，能够磨削轴对称及非轴对称的光学曲面，曲面磨削的表面形状精度PV可达0.3μm，表面粗糙度Ra可达10nm。而在抛光设备方面，法国 REOSC 制造了能够加工8米口径镜片的抛光机，用于超大望远镜VLT镜片的抛光，其面形误差可收敛至8.8nm RMS。美国 QED 公司研发的 Q22-2000F 磁流变数控抛光机床，可高效、高精度地加工平面、球面、非球面及自由曲面的大口径光学非球面元件